ʻO VCSEL, i kapa ʻia ʻo Vertical Cavity Surface Emitting Laser i piha, he ʻano laser semiconductor. I kēia manawa, hoʻokumu ʻia ka hapa nui o nā VCSEL ma GaAs semiconductor, a ʻo ka lōʻihi o ka hawewe hoʻokuʻu ʻia i loko o ka pūʻulu nalu infrared.
I ka makahiki 1977, ua hoʻopuka mua ʻo Polofesa Ika Kenichi o ke Kulanui ʻenehana o Tokyo i ka manaʻo o ka laser e hoʻokuʻu ʻia i ka ʻaoʻao. I nā lā mua, makemake nui ʻo ia e kiʻi i kahi laser semiconductor mode longitudinal me ka hoʻopuka paʻa ma ka hoʻopōkole ʻana i ka lōʻihi o ka lua. Eia nō naʻe, ma muli o ka lōʻihi o ka loaʻa ʻana o ka lōʻihi o kēia hoʻolālā, ua paʻakikī ka loaʻa ʻana o ka lasing laser, no laila ua hoʻolōʻihi ʻia ka noiʻi mua o VCSEL. ʻElua mau makahiki ma hope mai, ua ʻike maikaʻi ʻo Polofesa Yihe Jianyi i ka pulsed lasing o GaInAsP series lasers ma 77 K me ka hoʻohana ʻana i ka ʻenehana epitaxy phase wai (ke ʻano o ka wai-phase epitaxy e hoʻoheheʻe i nā mea paʻa mai ka hopena a waiho iā lākou ma luna o ka substrate e hoʻohua ai i nā ʻāpana lahilahi-crystal. ). I ka makahiki 1988, ua ulu ʻia nā ʻenehana GaAs series VCSEL e ka ʻenehana hoʻoheheʻe kemika (OCVD) no ka hoʻokō mau ʻana i ka hana ma ka lumi wela. Me ka hoʻomohala mau ʻana o ka ʻenehana epitaxial, hiki ke hana ʻia nā hale semiconductor DBR me ka noʻonoʻo kiʻekiʻe, kahi e wikiwiki ai i ke kaʻina noiʻi o VCSEL. I ka pau ʻana o ke kenekulia 20, ma hope o ka hoʻāʻo ʻana o nā keʻena noiʻi i nā ʻano hana like ʻole, ua hoʻonohonoho maikaʻi ʻia ke kūlana koʻikoʻi o ka VCSEL palena ʻona. A laila ua neʻe ʻo ia i ka pae o ke oʻo, kahi i hoʻomaikaʻi mau ʻia ka hana.
ʻO ke kiʻi ʻāpana o ka oxidation i kaupalena ʻia ka laser hoʻokuʻu kiʻekiʻe
ʻO ka ʻāpana hana ka ʻāpana koʻikoʻi o ka hāmeʻa. No ka pōkole loa o ka lua VCSEL, pono e hāʻawi ka mea hana i loko o ka lua e hāʻawi i ka uku uku no ka lasing mode.
ʻO ka mea mua, pono e hoʻokō ʻia ʻekolu mau kūlana i ka manawa like e hana ai i kahi laser:
1) ua hoʻokumu ʻia ka hoʻoili hoʻohuli ʻana o ka mea lawe ma ka ʻāina hana;
2) ʻo kahi lua resonant kūpono e hiki ai i ka radiation hoʻoulu ʻia ke hānai ʻia i nā manawa he nui e hana i kahi oscillation laser; a
3) ʻoi aku ka ikaika o ka injection o kēia manawa no ka hoʻonui ʻana i ka waiwai optical ma mua a i ʻole like me ka huina o nā poho like ʻole a hoʻokō i kekahi mau kūlana paepae o kēia manawa.
ʻO nā kūlana kumu ʻekolu e pili ana i ka manaʻo hoʻolālā o ka ʻōnaehana mea VCSEL. Ke hoʻohana nei ka ʻāina ikaika o VCSEL i kahi hoʻolālā luawai quantum strained e hoʻokumu i ke kumu no ka hoʻomaopopo ʻana i ka hoʻoili hoʻololi o loko. Ma ka manawa like, ua hoʻolālā ʻia kahi lua resonant me ka reflectivity kūpono e hana i nā kiʻi i hoʻokuʻu ʻia e hana i nā oscillations pili. ʻO ka mea hope loa, hāʻawi ʻia ka manawa injection e hiki ai i nā kiʻi ke lanakila i nā poho like ʻole o ka hāmeʻa ponoʻī e hana i kahi mau.
ʻO kēia ke ʻano o Shenzhen HDV Optoelectronic Technology Co., Ltd., kahi hui kamaʻilio optical, wehewehe iā VCSEL.