VCSEL, uas yog hu ua Vertical Cavity Surface Emitting Laser tag nrho, yog ib hom semiconductor laser. Tam sim no, VCSEL feem ntau yog raws li GaAs semiconductors, thiab cov emission wavelength feem ntau yog nyob rau hauv infrared yoj band.
Xyoo 1977, Xib Fwb Ika Kenichi ntawm Tokyo University of Technology thawj zaug tau npaj lub tswv yim ntawm ntsug-kab noj hniav nto-emitting laser. Nyob rau hauv thaum ntxov hnub, nws tsuas yog xav tau ib tug longitudinal hom semiconductor laser nrog ruaj khov tso zis los ntawm shortening lub kab noj hniav ntev. Txawm li cas los xij, vim qhov kev tsim no luv luv ib-txoj kev nce ntev, nws nyuaj kom tau txais laser lasing, yog li kev tshawb fawb thaum ntxov ntawm VCSEL tau ntev. Ob xyoos tom qab ntawd, Xib Fwb Yihe Jianyi tau ua tiav kev paub txog kev ua tiav ntawm GaInAsP series lasers ntawm 77 K siv cov kua theem epitaxy thev naus laus zis (txoj kev ua kua-theem epitaxy los ua kom cov khoom siv los ntawm kev daws teeb meem thiab tso lawv rau ntawm lub substrate los tsim ib leeg-crystal nyias txheej. ). Xyoo 1988, GaAs series VCSELs tau loj hlob los ntawm cov khoom siv tshuaj lom neeg vapor deposition (OCVD) kom ua tiav kev ua haujlwm tas mus li ntawm chav tsev kub. Nrog kev txhim kho tas li ntawm cov thev naus laus zis thev naus laus zis, semiconductor DBR cov qauv nrog cov kev xav tau siab tuaj yeem tsim tau, uas ua rau kom ceev cov txheej txheem tshawb fawb ntawm VCSEL. Thaum kawg ntawm lub xyoo pua 20th, tom qab cov koom haum tshawb fawb tau sim tawm cov qauv sib txawv, cov xwm txheej tseem ceeb ntawm oxidation-limited VCSEL tau zoo nkauj heev. Nws mam li txav mus rau theem ntawm kev loj hlob, qhov kev ua tau zoo tas li thiab txhim kho.
Sectional daim duab ntawm oxidation txwv sab saum toj emitting laser
Lub active cheeb tsam yog qhov tseem ceeb ntawm cov cuab yeej. Vim tias VCSEL kab noj hniav yog luv heev, qhov nruab nrab ntawm cov kab noj hniav yuav tsum tau muab cov nyiaj tau txais txiaj ntsig ntau dua rau hom lasing.
Ua ntej tshaj plaws, peb cov xwm txheej yuav tsum tau ua tiav ib txhij los tsim lub laser:
1) tus cab kuj inversion faib nyob rau hauv lub active cheeb tsam yog tsim;
2) cov kab noj hniav tsim nyog tso cai rau cov hluav taws xob txhawb nqa rov qab ntau zaus los tsim lub laser oscillation; thiab
3) qhov kev txhaj tshuaj tam sim no muaj zog txaus los ua kom qhov muag pom tau ntau dua lossis sib npaug ntawm cov txiaj ntsig ntawm ntau yam kev poob thiab ua tau raws li qee qhov kev cai tam sim no.
Peb lub hauv paus ntsiab lus sib raug rau lub tswv yim tsim ntawm VCSEL cov qauv khoom siv. Lub cheeb tsam nquag ntawm VCSEL siv cov qauv quantum zoo tsim los tsim lub hauv paus rau kev paub txog cov khoom thauj sab hauv kev sib hloov pauv. Nyob rau tib lub sij hawm, lub resonant kab noj hniav nrog tsim nyog reflectivity yog tsim los ua rau cov emission photons tsim coherent oscillations. Thaum kawg, txaus txhaj tshuaj tam sim no yog muab los ua kom cov photons kov yeej ntau yam kev poob ntawm lub cuab yeej nws tus kheej los tsim kom muaj kev kav ntev
Nov yog li cas Shenzhen HDV Optoelectronic Technology Co., Ltd., lub tuam txhab kev sib txuas lus kho qhov muag, piav qhia VCSEL.