Ngosipụta dị elu nke bọọdụ sekit na-ezo aka n'iji ezigbo ahịrị obosara / oghere, oghere micro, obosara mgbanaka dị warara (ma ọ bụ enweghị mgbanaka obosara), na lie na oghere kpuru iji nweta njupụta dị elu.
The elu nkenke na-ezo aka n'ihi na "mkpa, obere, warara, mkpa" ga-apụghị izere ezere eweta elu nkenke chọrọ, na-ewere obosara ahịrị dị ka ihe atụ: 0.20mm akara obosara, dị ka ụkpụrụ na-emepụta 0.16 ~ 0.24mm dị ka ruru eru, njehie bụ (0.20± 0.04) mm; na obosara ahịrị nke 0.10 mm, njehie bụ (0.1 ± 0.02) mm n'otu ụzọ ahụ. N'ụzọ doro anya na izi ezi nke ikpeazụ na-amụba okpukpu abụọ, na ihe ndị ọzọ adịghị esiri ike ịghọta, ya mere, a na-achọ oke nkenke adịghịzi atụle iche, ma ọ bụ nsogbu a ma ama na mmepụta nkà na ụzụ.
1.Fine teknụzụ waya
N'ọdịnihu, obosara / oghere dị elu ga-esi na 0.20mm ruo 0.13mm ruo 0.08mm ruo 0.005mm iji mezuo ihe achọrọ nke SMT na ngwugwu multi-chip (Muliticip Package, MCP). Ya mere, teknụzụ ndị a chọrọ:
① Iji mkpa ma ọ bụ ultra-akpa ọla kọpa foil (<18um) mkpụrụ na ezi n'elu ọgwụgwọ technology.
② Iji thinner akọrọ film na mmiri lamination usoro, mkpa na ezi àgwà akọrọ film nwere ike ibelata akara obosara distoring na ntụpọ. Ihe nkiri mmiri mmiri nwere ike mejupụta obere oghere ikuku, mụbaa nrapado interface, ma melite izi ezi na izi ezi waya.
③ Electrodeposited photoresist (ED) na-eji. Enwere ike ịchịkwa oke ya na oke nke 5 ~ 30 / um, nke nwere ike ịmepụta waya mara mma zuru oke. Ọ dị mma karịsịa maka obosara mgbanaka dị warara, ọ dịghị obosara mgbanaka na ntinye efere zuru ezu. Ugbu a, enwere ihe karịrị ahịrị mmepụta ED iri n'ụwa.
④ Nweta teknụzụ mkpughe ọkụ yiri ya. Ebe ọ bụ na mkpughe ọkụ yiri ya nwere ike imeri mmetụta nke ọdịiche obosara nke ahịrị kpatara site na ìhè oblique nke "isi iyi" ọkụ, enwere ike nweta waya dị mma nke nwere obosara ahịrị ziri ezi na akụkụ dị nro. Otú ọ dị, akụrụngwa mkpughe yiri ya dị oke ọnụ, na-achọ nnukwu ego, ma na-achọ ịrụ ọrụ na gburugburu ebe dị ọcha.
⑤ Nweta teknụzụ nchọpụta anya akpaka. Nkà na ụzụ a aghọwo ụzọ dị mkpa iji chọpụta ihe na-emepụta waya ndị dị mma ma na-akwalite ngwa ngwa, tinye ma mepụta ya.
2.Micropore teknụzụ
A na-ejikarị oghere ndị na-arụ ọrụ nke bọọdụ ndị e biri ebi ebiri eme ihe maka njikọ eletrik, nke na-eme ka ntinye nke teknụzụ micro-hole dịkwuo mkpa. Ojiji nke ihe eji egwu egwu egwu na igwe CNC na-emepụta obere oghere nwere ọtụtụ ọdịda na ọnụ ahịa dị elu.
Ya mere, bọọdụ sekit ndị a na-ebipụta nke dị elu na-emekarị site na wires na pads ndị dị mma. Ọ bụ ezie na a rụpụtawo ihe dị ukwuu, ikike ha nwere dị ntakịrị. Iji meziwanye njupụta (dị ka wires ndị na-erughị 0.08 mm), ọnụ ahịa amụbawo nke ọma Ya mere, a na-eji micro-pores na-emeziwanye densification.
N'ime afọ ndị na-adịbeghị anya, e meela ọganihu na nkà na ụzụ nke igwe CNC na-egwupụta ihe na micro-bits, ya mere teknụzụ micro-hole etolitela ngwa ngwa. Nke a bụ isi ihe pụtara ìhè na mmepụta PCB dị ugbu a.
N'ọdịnihu, nkà na ụzụ nke ịmepụta obere oghere ga-adabere na igwe igwe CNC dị elu na nnukwu isi micro. Obere oghere ndị a na-emepụta site na teknụzụ laser ka dị ala karịa obere oghere ndị CNC na-egwupụta igwe na-emepụta site n'echiche nke ọnụ ahịa na àgwà oghere.
① CNC igwe na-egwuputa ihe
Ka ọ dị ugbu a, teknụzụ igwe na-egwupụta CNC emewo ọganihu na ọganihu ọhụrụ. Ma mepụta ọgbọ ọhụrụ nke igwe na-egwupụta ihe nke CNC nke e ji na-egwupụta obere oghere.
Ịrụ ọrụ nke ịkụnye obere oghere (ihe na-erughị 0.50mm) na igwe na-egwupụta micro-hole bụ 1 ugboro dị elu karịa nke igwe CNC na-egwupụta ihe, na-enwe obere ọdịda, na ọsọ bụ 11-15r / min; Enwere ike igbapu oghere micro 0.1-0.2mm. Enwere ike gwuo obere ihe ọkụkụ dị elu nke dị elu site na ịkwado efere atọ (1.6mm / ibe).
Mgbe akuakuzinwo bit agbajikwa, ọ nwere ike na-akpaghị aka na-akwụsị na-akọ na ọnọdụ, na-akpaghị aka dochie akuakuzinwo bit na-elele dayameta (na ngwá ọrụ n'ọbá akwụkwọ nwere ike nabata ọtụtụ narị iberibe), na ike na-akpaghị aka ịchịkwa mgbe niile anya na mkpọpu omimi nke n'ọnụ na. ihe mkpuchi mkpuchi ahụ, ka e wee nwee ike ịkụnye oghere ndị kpuru ìsì , Agaghị agbapụta tebụl.
Tebụl nke igwe na-egwupụta ihe nke CNC na-anabatakwa ikuku ikuku na ụdị levitation magnetik, nke na-aga ngwa ngwa, dị ọkụ na karịa n'ụzọ ziri ezi na-enweghị ịcha tebụl. Igwe ndị a na-egwupụta ihe na-ewu ewu ugbu a, dị ka Mega 4600 sitere na Prurite na Ịtali, usoro Excellon 2000 na United States, na ngwaahịa ọgbọ ọhụrụ dị ka Switzerland na Germany.
②E nwere n'ezie ọtụtụ nsogbu na laser mkpọpu igwe CNC mkpọpu igwe na ibe n'ibe na-egwuputa micro oghere. Ọ egbochila ọganihu nke teknụzụ micro-hole, ya mere mbuze laser enwetawo nlebara anya, nyocha na ngwa.
Ma enwere ntụpọ na-egbu egbu, ya bụ, nhazi nke oghere mpi, nke na-aghọwanye njọ ka ọkpụrụkpụ nke osisi ahụ na-abawanye. Ejikọtara ya na mmetọ ikuku dị elu (karịsịa bọọdụ multi-layer), ndụ na mmezi nke isi iyi ọkụ, nkwughachi ziri ezi nke oghere etched, na ọnụ ahịa, nkwalite na ntinye nke oghere micro na bọọdụ e biri ebi dị oke.
Otú ọ dị, laser etched oghere ka na-eji na mkpa elu-njupụta microplates, karịsịa na MCM-L high-density interconnect (HDI), dị ka polyester film etched oghere na metal deposition na MCMS (Sputtering technology) na-eji na Nchikota na elu. -njupụta interconnects.
Nhazi oghere ndị e liri n'elu bọọdụ multilayer jikọtara ọnụ nke nwere njupụta dị elu nke nwere oghere oghere na kpuru ìsì nwekwara ike tinye ya n'ọrụ. Otú ọ dị, n'ihi mmepe na ọganihu nkà na ụzụ nke igwe CNC na-egwupụta ihe na micro-drills, a kwalitere ngwa ngwa ma tinye ha n'ọrụ.
Ya mere, ngwa nke laser mkpọpu ala na elu ugwu sekit mbadamba enweghị ike ịbụ a na-achị ọnọdụ. Ma a ka nwere ebe n'otu mpaghara.
③ e liri, kpuru ìsì, teknụzụ site na oghere e liri, kpuru ìsì, teknụzụ nchikota site na oghere bụkwa ụzọ dị mkpa isi mee ka njupụta nke sekit ebipụtara.
N'ozuzu, oghere ndị e liri na kpuru ìsì bụ obere oghere. Na mgbakwunye na ịbawanye ọnụ ọgụgụ nke wiring na osisi ahụ, oghere ndị e liri na ndị kpuru ìsì na-eji njikọ njikọ nke interlayer "kacha nso", nke na-ebelata ọnụ ọgụgụ nke site na oghere ndị e guzobere na nhazi efere dịpụrụ adịpụ ga-abụkwa Mbelata, si otú ahụ na-abawanye ọnụ ọgụgụ nke wiring dị irè na njikọ n'etiti oyi akwa na bọọdụ, na ịbawanye njupụta nke njikọ.
Ya mere, multi-layer osisi jikọtara na-eli ozu, kpuru ìsì, na site-oghere nwere a interconnection njupụta nke dịkarịa ala 3 ugboro elu karịa nke ot zuru-site-oghere osisi Ọdịdị na otu size na ọnụ ọgụgụ nke n'ígwé. Ọ bụrụ na e liri ya, kpuru ìsì, na nha nke bọọdụ a na-ebipụta jikọtara na site na oghere ga-ebelata nke ukwuu ma ọ bụ ọnụ ọgụgụ nke ọkwa ga-ebelata nke ukwuu.
Ya mere, n'elu elu-njupụta elu-ndokwasa mbadamba e biri ebi, na-eli ozu na kpuo ìsì teknụzụ na-esiwanye na-eji, ọ bụghị nanị na elu-ndokwasa mbadamba e biri ebi na nnukwu kọmputa na ngwa nkwurịta okwu, kamakwa na obodo na ulo oru ngwa. A na-ejikwa ya eme ihe n'ọhịa, ọbụlagodi na bọọdụ ndị dị gịrịgịrị, dị ka PCMCIA dị iche iche, Smard, kaadị IC na bọọdụ dị larịị isii.
A na-emecha bọọdụ sekit ndị e biri ebi nke nwere oghere ili na kpuru ìsì site na usoro mmepụta nke "sub-board", nke pụtara na enwere ike ịmecha ya mgbe ọtụtụ efere ịpị, mkpọpu ihe, oghere oghere, wdg, ya mere nhazi ziri ezi dị ezigbo mkpa.