VCSEL پۈتۈنلەي ۋېرتىكال كاۋاك يۈزى قويۇپ بېرىدىغان لازېر دەپ ئاتىلىدۇ ، ئۇ بىر خىل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېر. ھازىر كۆپىنچە VCSEL لار GaAs يېرىم ئۆتكۈزگۈچنى ئاساس قىلغان بولۇپ ، قويۇپ بېرىش دولقۇنىنىڭ ئۇزۇنلۇقى ئاساسلىقى ئىنفىرا قىزىل نۇر بەلبېغىدا.
1977-يىلى توكيو سانائەت ئۇنىۋېرسىتېتىنىڭ پروفېسسورى ئىكا كېنىچى ئالدى بىلەن تىك كاۋاك يۈزى قويۇپ بېرىدىغان لازېر ئۇقۇمىنى ئوتتۇرىغا قويدى. دەسلەپكى مەزگىللەردە ، ئۇ ئاساسلىقى كاۋاك ئۇزۇنلۇقىنى قىسقارتىش ئارقىلىق مۇقىم چىقىرىش ئارقىلىق يەككە ئۇزۇنلۇقتىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لازېرغا ئېرىشمەكچى بولغان. قانداقلا بولمىسۇن ، بۇ لايىھەنىڭ قىسقا مۇددەتلىك تاق يۆنىلىشلىك ئۆسۈشى سەۋەبىدىن ، لازېرلىق لازېر نۇرغا ئېرىشىش قىيىن ئىدى ، شۇڭا VCSEL نىڭ دەسلەپكى تەتقىقاتى ئۇزۇنغا سوزۇلدى. ئىككى يىلدىن كېيىن ، پروفېسسور يىخې جيەنيى 77 K دىكى GaInAsP يۈرۈشلۈك لازېرنىڭ سوقۇلغان لازېرلىق سۇيۇقلۇقىنى مۇۋەپپەقىيەتلىك ھالدا ئەمەلگە ئاشۇردى (سۇيۇقلۇق فازا تۇتقاقلىق ئۇسۇلى ئېرىتمىسىدىن قاتتىق ماددىلارنى چۆكتۈرۈپ ، ئاستىغا قويۇپ ، يەككە كرىستال نېپىز قەۋەت ھاسىل قىلدى. ). 1988-يىلى ، GaAs يۈرۈشلۈك VCSELs ئورگانىك خىمىيىلىك ھور چۆكۈش تېخنىكىسى (OCVD) تېخنىكىسى ئارقىلىق ئۆستۈرۈلۈپ ، ئۆي تېمپېراتۇرىسىدا ئۇدا مەشغۇلات ئېلىپ باردى. Epitaxial تېخنىكىسىنىڭ ئۈزلۈكسىز تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ DBR قۇرۇلمىسىنى يۇقىرى ئەكس ئەتتۈرگىلى بولىدۇ ، بۇ VCSEL نىڭ تەتقىقات جەريانىنى كۆرۈنەرلىك تېزلىتىدۇ. 20-ئەسىرنىڭ ئاخىرىدا ، تەتقىقات ئاپپاراتلىرى ئوخشىمىغان قۇرۇلمىلارنى سىناق قىلىپ بولغاندىن كېيىن ، ئوكسىدلىنىش چەكلەنگەن VCSEL نىڭ ئاساسىي ئېقىمى خېلىلا بېكىتىلدى. ئاندىن ئۇ پىشىپ يېتىلىش باسقۇچىغا قەدەم قويدى ، بۇ يەردە ئىقتىدار توختىماي ئەلالاشتۇرۇلدى ۋە ياخشىلاندى.
ئوكسىدلىنىشنىڭ بۆلەك دىئاگراممىسى يۇقىرى قويۇپ بېرىدىغان لازېر
ئاكتىپ رايون ئۈسكۈنىنىڭ مۇھىم تەركىبىي قىسمى. VCSEL بوشلۇقى ناھايىتى قىسقا بولغاچقا ، كاۋاكتىكى ئاكتىپ ۋاسىتە لازېرلاش ھالىتى ئۈچۈن تېخىمۇ كۆپ تولۇقلىما بىلەن تەمىنلىشى كېرەك.
ئالدى بىلەن ، لازېر ھاسىل قىلىش ئۈچۈن بىرلا ۋاقىتتا ئۈچ شەرتنى ھازىرلاش كېرەك:
1) ئاكتىپ رايوندا توشۇغۇچىنىڭ تەتۈر يۆنىلىشلىك تەقسىملىنىشى قۇرۇلدى.
2) ماس كېلىدىغان رېزونانس بوشلۇقى غىدىقلانغان رادىئاتسىيەنى كۆپ قېتىم ئوزۇقلاندۇرۇپ ، لازېرلىق تەۋرىنىش ھاسىل قىلىدۇ. ۋە
3) نۆۋەتتىكى ئوكۇل كۈچلۈك بولۇپ ، ئوپتىكىلىق پايدىنى ھەر خىل زىياننىڭ يىغىندىسىدىن چوڭ ياكى تەڭ ئورۇنغا قويۇپ ، مەلۇم بوسۇغىدىن ئۆتۈش شەرتىنى ھازىرلايدۇ.
ئۈچ ئاساسلىق شەرت VCSEL ئۈسكۈنە قۇرۇلمىسىنىڭ لايىھىلەش ئۇقۇمىغا ماس كېلىدۇ. VCSEL نىڭ ئاكتىپ رايونى جىددىي كىۋانت قۇدۇق قۇرۇلمىسىنى ئىشلىتىپ ، ئىچكى توشۇغۇچىنىڭ تەتۈر ئايلىنىشىنى تەقسىملەشنىڭ ئاساسى قىلىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، مۇۋاپىق نۇر قايتۇرۇش رېزونانىس بوشلۇقى قويۇپ بېرىلگەن فوتونلارنىڭ ماس تەۋرىنىش ھاسىل قىلىشى ئۈچۈن لايىھەلەنگەن. ئاخىرىدا ، يېتەرلىك ئوكۇل ئېقىمى تەمىنلىنىپ ، فوتون ئۈسكۈنىنىڭ ئۆزىدىكى ھەرخىل زىيانلارنى يېڭىپ ، ئۇزۇن مۇددەتلىك ئۈنۈم ھاسىل قىلالايدۇ
ئوپتىكىلىق خەۋەرلىشىش شىركىتى شېنجېن HDV ئوپتو ئېلېكترون تېخنىكا چەكلىك شىركىتى VCSEL نى چۈشەندۈردى.